半导体XRD研究所-黑龙江大功率XRD检测

大功率XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微区XRD可以测试某个区域的XRD谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °，大功率XRD检测多少钱，其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，大功率XRD检测费用多少，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的XRD，就可以用微区XRD来测试。

微区XRD原理跟一般XRD一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区XRD的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的XRD的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有巨大梯度成份的小斑点，大功率XRD检测价格，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、法医样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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XRD全称X射线衍射(X-RayDiffraction)，利用X射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区X射线衍射或 uXRD)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化XRD测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射X射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

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首先，我们必须强调的是XRD做含量分析非常不准，如果非要说检出限是多少主要是由什么决定的，那就是由仪器的功率和管电流决定的，如果要表征元素的含量好用化学方法测或者原子吸收来做。

另外，XRD的检测限是不能简单的用％来表示的，这和被检测物质的分散度有很大关系，也就是结晶度，与物质种类也有很大关系，样品的质量吸收系数大，检出限会高很多。如果非要确定出一个检出限，一般说是5%左右。但是，不同的物相，对X射线的吸收不同，则检出限会有较大出入。如单质硅，一般在1%左右可以检出，而另一些相，可能10%都难于检出。当然。在样品相同的情况下，使用较高的衍射功率，使用较长的扫描时间效果会更好。不过，如果要延长扫描时间，如果延长一两倍是见不到效果的。

经验表明，如果使用常规的扫描速度能看到某种存在的迹象，那么，黑龙江大功率XRD检测，再采用1度/min或更慢的速度来扫描。如果使用常规扫描速度根本都看不到痕迹，就没有必要再费力了。进行半定量分析确实是很不准确，而且结果确实与晶粒大小相关。晶粒小的析出相，连检出都困难，更别说做定量分析了。晶粒小的物相会使其RIR值增大，曾做过CeO2的RIR值，在不同的温度下的产物，其RIR值相差10倍。

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